ADVANTAAGE

公司可稳定提供4英寸、6英寸N型碳化硅衬底产品：

N型产品

微管密度可小于0.1/cm²，
基平面位错密度小于500/cm²，
电阻率小于0.025 Ω·cm ，
TTV小于3μm，
LTV_max小于2μm (10mm×10mm),
Warp<10μm。