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日前,广州南砂晶圆半导体技术有限公司(以下简称“南砂晶圆”)在第十届国际第三代半导体论坛(IFWS2024)&第二十一届中国国际半导体照明论坛(SSLCHINA2024)上荣获衬底及外延材料年度推荐品牌大奖,彰显了其在碳化硅衬底领域的卓越成就和行业领先地位。这一荣誉不仅是对南砂晶圆技术实力和市场影响力的认可,也是对其在推动第三代半导体产业发展中所做贡献的肯定。
ICSCRM 2024展会上,南砂晶圆重点展示了最新的8英寸导电型碳化硅衬底。该产品推出,标志着南砂晶圆在碳化硅衬底位错缺陷控制方面取得了重大突破。南砂晶圆实现近“零螺位错”密度和低基平面位错密度的8英寸导电型4H-SiC单晶衬底制备这一技术突破,不仅提升了产品的可靠性和性能,也为国产8英寸导电型衬底的产业化进程迈出了坚实的一步。展会期间,南砂晶圆团队与来自全球的行业专家、合作伙伴等进行了深入交流和讨论。众多参会人士对南砂晶圆展示的新产品和技术表示出浓厚的兴趣,并对公司的未来发展给予了高度期待。
南砂晶圆采用扩径生长制备了 8 英寸 4H-SiC 衬底,实现了近“零 TSD”和低 BPD 密度的 8 英寸衬底,可以满足生产需要。广东天域国产 8 英寸外延设备和开发的工艺包,实现了速率为 68.66μm/h 的快速外延生长,厚度不均匀性为 0.89%,掺杂不均匀性为 2.05%,这两个指标已经达到了 6 英寸外延膜的优良水平,完全可以满足生产需要。
2024年7月31日,山东省委书记林武莅临南砂晶圆全资子公司中晶芯源,视察公司8英寸碳化硅北方基地项目。省委常委、济南市委书记刘强,省委常委、秘书长范波,省工信厅副厅长安文建,济南市工信局党组书记、局长魏斌,历城区委书记张军等省市区领导参加活动。
2024年7月31日,山东省委书记林武莅临南砂晶圆全资子公司中晶芯源,调研公司8英寸碳化硅北方基地项目。省委常委、济南市委书记刘强、省委常委、秘书长范波、省工信厅副厅长安文建、济南市工信局党组书记、局长魏斌、历城区委书记张军、历城区委常委、区委办主任胡志强、历城区委常委、区政府副区长文海生等省市区领导参加活动。南砂晶圆技术团队负责人、山东大学新一代半导体材料研究院院长、山东大学晶体材料国家重点实验室主任徐现刚教授带队迎接。