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我司采用物理气相传输法(PVT)扩径获得了8英寸4H-SiC籽晶,用于8英寸导电型4H-SiC晶体生长,并加工出厚度520μm的8英寸4H-SiC衬底。对衬底的晶型、微管、电阻率和结晶质量进行了表征,衬底颜色均一并结合拉曼光谱表明衬底4H-SiC晶型面积比例为100%;衬底微管密度小于0.3/cm2;衬底电阻率范围20-23mΩ•cm,平均值为22mΩ•cm;(004)面高分辨X射线摇摆曲线半峰宽32.7弧秒,表明衬底良好的结晶质量。
近日,由广州市科学技术局指导,广州市科技创新企业协会主办的《2021年广州“独角兽”创新企业榜单》、《2021年广州高精尖企业榜单》正式公布!南砂晶圆凭借过硬的实力,入选“广州未来独角兽创新企业”和“广州高精尖企业”榜单。